
Chirp-Normal der PTB zur Beurteilung der höhenabhängigen Steigungsmessfähigkeit und lateralen Auflösung von Mikroskopen. © PTB
23.08.24 – PTB
PTB
Bisher war die genaue Messung der Oberflächentopografie eine Herausforderung: Zwar können optische Messsysteme sowohl Topografien als auch dimensionale ...